技術(shù)文章
Technical articles柔性壓力傳感器可將機械刺激轉(zhuǎn)換成電信號,以實現(xiàn)與環(huán)境的友好交互。電容型柔性壓力傳感器不僅可以檢測靜態(tài)壓力,還能同時檢測動態(tài)壓力,其信號也較為穩(wěn)定,因此被廣泛研究與應(yīng)用。但這類傳感器的響應(yīng)速度通常較慢,處于數(shù)十毫秒量級(對應(yīng)頻率帶寬為數(shù)十赫茲)。這與作為介電層的軟材料對動態(tài)壓力的響應(yīng)時間相差至少6-7個數(shù)量級(響應(yīng)時間為納秒級別,對應(yīng)頻率帶寬可到億赫茲水平)。這種顯著的差異主要來自于兩個方面:一是材料的粘彈性,二是電極與介電層界面在動態(tài)加載與卸載過程中的能量耗散。然而,過去十多年來,研究人員并沒有認(rèn)識到微結(jié)構(gòu)界面的能量耗散對響應(yīng)速度的影響。
針對以上問題,南方科技大學(xué)材料科學(xué)與工程系郭傳飛教授、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代力學(xué)系王柳教授、中國商用飛機有限責(zé)任公司陳迎春研究員研究團隊合作開發(fā)了一種超快響應(yīng)的電容型電子皮膚。團隊深入研究了微結(jié)構(gòu)界面的能量耗散對電容型柔性壓力傳感器響應(yīng)-恢復(fù)速度的影響,采用微結(jié)構(gòu)界面的一體化粘接技術(shù),將這類傳感器的頻率帶寬從數(shù)百赫茲擴展至至少12500 Hz,該研究為推動電容型柔性壓力傳感器從動態(tài)壓力檢測到聲學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用提供了新的思路。
相關(guān)成果以“Ultrafast piezocapacitive soft pressure sensors with over 10 kHz bandwidth via bonded microstructured interfaces"為題發(fā)表在學(xué)術(shù)期刊《Nature Communications》上,南方科技大學(xué)材料系博士研究生張愿、中國科學(xué)院深圳先進技術(shù)研究院高級工程師周小猛、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代力學(xué)系碩士研究生張念為本文的共同第一作者,郭傳飛教授、王柳教授和陳迎春研究員作為共同通訊作者,南方科技大學(xué)為該論文的第一通信單位。
通過有限元模擬,研究團隊發(fā)現(xiàn)在粘附-脫附過程中微結(jié)構(gòu)界面所能引發(fā)的顯著能量耗散的現(xiàn)象,這在一定程度上導(dǎo)致了器件響應(yīng)速度的下降。針對這一問題,該團隊采用微結(jié)構(gòu)界面的一體化粘接技術(shù),同時結(jié)合彈性體-碳納米管的滲流轉(zhuǎn)變傳感機制,使傳感器在保證較高靈敏度的同時,其響應(yīng)速度成功提升至12500 Hz水平。團隊采用摩方精密nanoArch® S130(精度:2 μm)3D打印設(shè)備,實現(xiàn)了微錐結(jié)構(gòu)模板的高精度打?。ㄖ睆剑?0 μm,高度:40 μm),并結(jié)合倒模技術(shù)制備了柔性PDMS-CNTs微結(jié)構(gòu)介電層。通過采用摻雜碳納米管降低粘彈性,結(jié)合粘接的微結(jié)構(gòu)界面減少界面摩擦能量耗散,實現(xiàn)了傳感器的超快響應(yīng)(圖1)。
該團隊利用該傳感器進一步設(shè)計了一種人工耳系統(tǒng),并利用這個系統(tǒng)進行聲音檢測。他們對比了該傳感器與商用麥克風(fēng)以及傳統(tǒng)的具有非粘接微結(jié)構(gòu)界面的傳感器的測試結(jié)果,發(fā)現(xiàn)該傳感器的聲音識別能力與商用麥克風(fēng)幾乎一致,證明了該傳感器在聲學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用潛力(圖4)。
本研究得到了國家自然科學(xué)基金、廣東省科技廳和深圳市科創(chuàng)委的支持。